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高产能匀胶显影机

产品特点:

高产能机台结构紧凑,占地面积小,布局采用最新的分体式结构,高速机器人在工艺单元间传递,同时工艺单元中采用共用摆臂结构,使单元结构尺寸大幅减小,单元配置更加灵活;另外机台采用软件平台调度功能,可以充分发挥机器人的利用率,减少机器人与各工位的等待时间,全新的软件操作界面,使操作员更方便直观的使用,大大提高工作效率,减少失误率。机台最高产能可达280WPH。
  • 详细描述
晶片尺寸
2-6寸

技术参数
1、晶片尺寸: 2-6英寸
2、上下料方式: 高效机械手自动传送
3、离心机转速
额定转速: 6000 rpm
最小调整量: 1rpm
转速精度: ±2rpm(50 rpm~6000 rpm)
4、吸盘(Chuck)
夹持方式: 真空吸附
吸盘真空检测: 数显真空压力传感器
5、 收集杯材质(CUP): PP,气液分离排放
6、 CUP自动清洗功能:
7、 电机漏液防护功能:
8、 光刻胶/显影液过滤: 有,0.1um/0.2um可选
9、 热处理单元:          热板HP单元(max.180℃)10个,冷板CP单元2个,根据工艺制程不同可灵活选配
10、光刻胶供应:          采用高精度气动/电动计量泵
11、显影液供应:          采用N2加压
12、滴胶精度:            ±0.1ml ;滴胶范围:0.6-3ml
13、工作方式:            自动供胶,自动显影,自动取送片
14、最高产能:            280WPH

应用行业
广泛服务于半导体、LED、分立器件、功率器件等领域